dimethyl[tetrakis(dimethylamino)tantalio]amine

• ChemBase编号: 146587
• 分子式: C10H30N5Ta
• 平均质量: 401.3266
• 单一同位素质量: 401.19811599
• SMILES: CN(C)[Ta](N(C)C)(N(C)C)(N(C)C)N(C)C
• Canonical SMILES: CN([Ta](N(C)C)(N(C)C)(N(C)C)N(C)C)C
• InChI: InChI=1S/5C2H6N.Ta/c5*1-3-2;/h5*1-2H3;/q5*-1;+5
• InChIKey: VSLPMIMVDUOYFW-UHFFFAOYSA-N

名称和登记号

名称

• IUPAC标准名: dimethyl[tetrakis(dimethylamino)tantalio]amine
• IUPAC传统名: dimethyl[tetrakis(dimethylamino)tantalio]amine
• 别名: 五(二甲氨基)钽(V); PDMAT; TADMA; Ta(NMe2)5; Tantalum dimethylamide; Pentakis(dimethylamino)tantalum(V)

登记号

• CAS号: 19824-59-0
• MDL号: MFCD01631286
• PubChem SID: 162240781; 24873088
• PubChem CID: 140614

理论计算性质

• 质子受体: 5
• 质子供体: 0
• LogD (pH = 5.5): -6.9709573
• LogD (pH = 7.4): -5.2143536
• Log P: -1.059
• 摩尔折射率: 69.467 cm^3
• 极化性: 34.20338 Å^3
• 极化表面积: 16.2 Å^2
• 可自由旋转的化学键: 5
• 里宾斯基五规则: true

分子性质

理化性质

• 外观: solid
• 熔点: 100 °C (dec.)(lit.)

安全信息

• 欧盟危险性物质标志: 腐蚀性(Corrosive) (C); 易燃性(Flammable) (F)
• 联合国危险货物编号: 3131
• 德国WGK号: 3
• 联合国危险货物等级: 4.3
• 联合国危险货物包装类别(PG): 1
• 危险公开号: 11-14/15-34
• 安全公开号: 16-26-36/37/39-43-45
• GHS危险品标识: GHS02; GHS05
• GHS警示词: Danger
• GHS危险声明: H260-H314
• GHS警示性声明: P223-P231 + P232-P280-P305 + P351 + P338-P370 + P378-P422
• 个人保护装置: Eyeshields, Faceshields, full-face particle respirator type N100 (US), Gloves, respirator cartridge type N100 (US), type P1 (EN143) respirator filter, type P3 (EN 143) respirator cartridges
• RID/ADR: UN 3131 4.3/PG 1
• 欧盟补充危害声明: Reacts violently with water.

产品相关信息

• 纯度: 99.99%
• 线性分子式: Ta(N(CH3)2)5

详细说明

Sigma Aldrich - 496863

Features and Benefits
氮化钽 (TaN) 薄膜的挥发性固体 CVD 前体。当在沉积过程中存在 O2、H2O、NO 或 H2O2 时，还会形成氧化钽 (Ta2O5) 薄膜。1,2 Ta2O5 薄膜作为集成电路制造中的栅电介质材料具有广阔的应用前景。
General description
Atomic number of base material: 73 Tantalum
包装
5 g in glass bottle