甲基硅烷

• 产品号: 462993
• CAS号: 992-94-9
• 分子式: CH6Si
• 分子量: 46.14384
• 纯 度: ≥99.9%

产品别名

• 标题: Methylsilane
• IUPAC标准名: methylsilane
• IUPAC传统名: silane, methyl-

产品登记号

• PubChem SID: 24869881
• EC号: 213-598-5
• MDL号: MFCD00053655
• Beilstein号: 1730728
• CAS号: 992-94-9

产品性质

• 级别: electronic grade
• 杂质: <10 ppm Carbon dioxide (CO2)
• 杂质: <10 ppm Nitrogen (N2)
• 杂质: <100 ppm Dimethylsilane (CH3)2SiH2
• 杂质: <100 ppm Methylchlorosilane CH3SiH2Cl
• 杂质: <2 ppm Argon + Oxygen (Ar + O2)
• 杂质: <50 ppm Methane (CH4)
• 杂质: <50 ppm Silane (SiH4)
• 线性分子式: CH3SiH3
• 纯度: ≥99.9%
• 外观: liquid
• 沸点: -57 °C(lit.)
• 熔点: -157 °C(lit.)
• 蒸汽密度: 0.628 (-58 °C, vs air)
• GHS警示词: Danger
• GHS危险声明: H220-H280-H312-H332
• 欧盟危险性物质标志: 高度易燃性(Highly flammable) (F+)
• 欧盟危险性物质标志: 有害性(Harmful) (Xn)
• 个人保护装置: Eyeshields, Faceshields, Gloves, half-mask respirator (US), multi-purpose combination respirator cartridge (US)
• GHS警示性声明: P210-P280-P410 + P403
• RID/ADR: UN 3161 2.1
• 危险公开号: 12-14-20/21
• 安全公开号: 16-24-26-36/37/39
• 欧盟补充危害声明: Reacts violently with water.
• 联合国危险货物等级: 2.1
• 联合国危险货物编号: 3161
• 德国WGK号: 3

产品详细信息

详细说明 (English)

Packaging
10, 20 g in ss cylinder
Features and Benefits
Methylsilane is used in the plasma-assisted CVD of silicon carbide (SiC) and as a precursor to the epitaxial growth of SiGeC alloy layers via rapid thermal CVD.1 Recent developments include the use of methylsilane as a precursor to silicon-carbon-hydrogen polymer used as photoresists.
Precursor to silicon carbide or alloy thin films by chemical vapor deposition (CVD) and molecular beam epitaxy (MBE).
Recommended products
Stainless steel regulators Z527416 or Z527424 are recommended.

详细说明 (简体中文)

包装
10, 20 g in ss cylinder
Features and Benefits
甲基硅烷用于碳化硅 (SiC) 的等离子体辅助 CVD，以及作为 SiGeC 合金层通过快速热 CVD 法外延生长的前体。1最新的进展包括使用甲基硅烷作为硅-碳-氢聚合物（用作光致抗蚀剂）的前体。
通过化学气相沉积 (CVD) 和分子束外延 (MBE) 形成碳化硅或合金薄膜时的前体。
Recommended products
推荐使用不锈钢调节器 Z527416 或 Z527424。