硅烷

• 产品号: 333891
• CAS号: 7803-62-5
• 分子式: H4Si
• 分子量: 32.11726
• 纯 度: ≥99.998%

产品别名

• 标题: Silane
• IUPAC标准名: silane
• IUPAC传统名: silane
• 别名: 四氢化硅; Silicon tetrahydride

产品登记号

• EC号: 232-263-4
• MDL号: MFCD00011228
• CAS号: 7803-62-5
• PubChem SID: 24860199

产品性质

• 个人保护装置: Eyeshields, Faceshields, Gloves, half-mask respirator (US), multi-purpose combination respirator cartridge (US)
• GHS警示性声明: P210
• RID/ADR: UN 2203 2.1
• 危险公开号: 12-17-20
• RTECS编号: VV1400000
• 安全公开号: 9-16-33-36/37/39
• 联合国危险货物等级: 2.1
• 联合国危险货物编号: 2203
• 德国WGK号: 1
• GHS警示词: Danger
• GHS危险声明: H220-H332
• 欧盟危险性物质标志: 高度易燃性(Highly flammable) (F+)
• 欧盟危险性物质标志: 有害性(Harmful) (Xn)
• 级别: electronic grade
• 杂质: <1 ppm Carbon dioxide (CO2)
• 杂质: <1 ppm Carbon monoxide (CO)
• 杂质: <1 ppm Chlorosilanes
• 杂质: <1 ppm THC
• 杂质: <1 ppm Trisilane (Si3H8)
• 杂质: <1 ppm Water (H2O)
• 杂质: <100 ppm Hydrogen (H2)
• 杂质: <2 ppm Nitrogen (N2)
• 杂质: <2 ppm Siloxanes
• 杂质: <5 ppm Disilane (Si2H6)
• 线性分子式: SiH4
• 纯度: ≥99.998%
• 外观: gas
• 沸点: -112 °C(lit.)
• 密度: 1.114 g/mL at 25 °C(lit.)
• 熔点: -185 °C(lit.)
• 电阻率: >1000 Ω-cm
• 转变温度: critical temperature -3.4 °C
• 蒸汽密度: 1.1 (vs air)

产品详细信息

详细说明 (English)

Application
Silane is used in the deposition of amorphous silicon, epitaxial silicon and silicon based dielectrics. Polycrystalline films can be deposited on silicon wafers and glass substrates via remote plasma chemical vapor deposition (RPCVD) using a SiH4-SiF2-H2 gas mixture.1,2 Silane is used widely as a dopant in the formation of III-IV semiconductor materials.3
Recommended products
Stainless steel regulators Z527416 or Z527424 are recommended.

详细说明 (简体中文)

Application
将硅烷用于无定形硅、外延硅和硅基电介质的沉积。可利用 SiH4-SiF2-H2 气体混合物通过远程等离子体化学气相沉积 (RPCVD) 在硅晶片和玻璃基底上沉积多晶薄膜。1,2硅烷在形成 III-IV 半导体材料时广泛用作掺杂剂。3
Recommended products
建议使用不锈钢调节器 Z527416 或 Z527424。